氨質譜檢漏儀是以氨氣作為示漏氣體，對真空設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便檢測迅速等特點是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器其測量工作原理如下。
氨質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氨氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。
質量分析器是一個均勻的磁場空間不同離子的質荷比不同在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離在設計時只讓氨離子飛出分析器的縫隙打在收集器上。收集放大器收集氨離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。
近年來，隨著高真空檢漏技術科學領域的不斷發(fā)展和應用技術的日趨成熟，以及高真空檢漏儀器技術的不斷創(chuàng)新和進步儀器更新換代很快。從技術性能、高可靠性、準確性、耐用性、靈活性和性價比等各方面都有著劃時代的進步，從而使高真空檢漏儀器從科學研究領域、實驗室的應用逐漸普及到工業(yè)和民用領域的應用。
氨質譜檢漏技術是在真空檢漏技術領域里應用廣泛的一種，這種檢漏方法的優(yōu)點是：檢漏靈敏度高（可以檢漏到10-12Pa·m3/s數量級）、儀器響應快、操作簡便、成本較低、用途廣泛等，所以氨質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用。
氨質譜檢漏儀技術在真空檢漏領域里不僅能定位、定性、定量檢漏，且具有操作簡便、準確可靠、成本較低、用途廣泛等特點。采用這種檢漏技術無論從小件到大件從小系統到大系統檢漏從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，都能準確快捷有效。隨著氨質譜檢漏技術的不斷發(fā)展和成熟，未來將逐漸滲透到各個高低端行業(yè)領域應用前景廣闊因此值得推廣應用。
