氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。
氦質譜檢漏儀的進展:
經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面:
(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的
氦質譜檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀自身保養小知識
(1)前級真空泵的定期換油及深度保養;
(2)電磁閥組的超聲清洗;
(3)質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。
氦質譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產品。設備內芯的制造借鑒*技術,整機設置合理、性能穩定。具有靈敏度高,反應快,開機時間短等特點。檢漏效果達到*水平。